1200C Kolmen lämmitysvyöhykkeen PECVD-järjestelmä
1200C Kolmen lämmitysvyöhykkeen PECVD-järjestelmä

1200C Kolmen lämmitysvyöhykkeen PECVD-järjestelmä

SK2-CVD-12TPB4 on PECVD-järjestelmän putkiuuni, joka koostuu 300 W tai 500 W RF-virtalähteestä, monikanavaisesta tarkkuusvirtausjärjestelmästä, tyhjiöjärjestelmästä ja putkiuunista. Yleisesti käytetty lämpötila on 1100 celsiusastetta tai alle, ja sen tärkeimmät ominaisuudet ovat alhainen kerrostumislämpötila, nopea nopeus, hyvä kalvon laatu, vähemmän reikiä ja vähemmän alttiina halkeilulle. Ihanteellinen laite nanolankojen kasvattamiseen tai erilaisten ohutkalvojen valmistukseen CVD-menetelmällä.
Lähetä kysely
Ominaisuus

 

● Maksimilämpötila RT-1200 astetta

● Jaettu uunityyppi, voit avata uunin.

● Voi syöttää yli 2 kaasukanavaa 10 Pa:n tyhjiöasteella käyttämällä mekaanista pumppua ja 500 W RF-virtalähdettä signaalin parantamiseksi.

● Korkealaatuiset alumiinioksidikeraamiset kuitueristysmateriaalit

● Lämpötilasäädön tarkkuus ±1 aste

● Ylilämpötilahälytystoiminnolla

● Tuuletin voi alentaa kotelon lämpötilaa

 

Malli

SK2-CVD-12TPB4

Mitat: Vakiolämmitysalueen pituus (mm)

440 mm

Mitat: Vakioputken halkaisija (mm)

∮60mm

Max.lämpötila

1200 astetta, jatkuva käyttölämpötila 1100 astetta.

Jännite (V)

220 1P

Termoparin tyyppi

K

Lämmityselementti

HRE metalliseosvastuslanka

Temp.Tarkkuus

±1 astetta

Lämmitysnopeus

0-30 astetta/min vapaa säätö

Kammion materiaali

Edistyksellisen korkealaatuisen alumiinioksidin mikrokiteisen kuitumateriaalin käyttö

Uunin rakenne

Kaksikerroksinen ilmajäähdytteinen rakenne, pintalämpötila on alle 60 astetta

Lämpötilansäädin

Älykäs PID-lämpötilan säätölaite, 30 ohjelmasegmenttiä, SSR-ohjaus, PID-parametrien itsesäätötoiminto; ohjelma lämpötilan nousu, ohjelma lämmönsäilytys, ohjelma jäähdytys

500 W RF-virtalähde

Lähtöteho: 5-500W ±1 aste

RF-taajuus: 13,56 MHz ±0,005 %

Heijastunut teho: jopa 100 W

Vastaavuus: Automaattinen

RF-liitäntä: 50Ω, N-tyyppi

Jäähdytys: ilmajäähdytys

Virtalähde: AC 208-240V, 50/60HZ

4 kaasukanavainen tarkkuusvirtausjärjestelmä

1. Täyden mittakaavan virtausnopeus (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ml/min. 10l/min.

2. Venttiilin tyyppi: Solenold-venttiili.

3. Venttiilin lepoasento: Normaalisti kiinni.

4. Paine-ero: (50-300) kpa

5. Paineenkestävyys: 3mpa.

6. Käyttölämpötila: 5-45 astetta

7. Materiaalit: ruostumaton teräs 316L.

Tyhjiöjärjestelmä

5*10-3Pa

KF25 pikaliitin, ruostumattomasta teräksestä valmistetut palkeet, manuaalinen läppäventtiili ja laippa, tyhjiöpumppu

Valinnaisesti voidaan varustaa myös korkeampia alipainejärjestelmiä.

image001

TERVETULOA OEM/ODM

 

Vakiovarusteet

 

Lämpökäsineet|Upokaskoukku|Termopari|Putkilohko|Käyttöopas |Työkalut|Tyhjiöpumppu| Kvartsiputki |Laippa |Tiivisterengas |10mm kaasuletku |Laippatuki, Kaasujärjestelmä, RF-teho.

 

Valinnainen

 

Eri lämmitysalue valintasi mukaan;

LCD-kosketusnäytön säädin

RS485/USB-portti tietokoneen liittämiseen.

 

Yksityiskohtainen kuva CVD-PECVD:stä

 

image003
500 W RF-virtalähde
image005
Tyhjiöjärjestelmä
image007
4 kaasukanavainen tarkkuusvirtausjärjestelmä

 

Sovellus

 

Tätä laitetta käytetään pääasiassa nanolankojen kasvattamiseen tai erilaisten ohutkalvokasvien valmistukseen CVD-menetelmällä.

 

Takuu

 

Vuoden takuu ja elinikäinen tekninen tuki

Erikoisvinkkejä:

1. Kulutustarvikkeet, kuten lämmityselementti, kvartsiputki, näyteupokas jne., eivät kuulu takuun piiriin.

2. Takuu ei kata syövyttävän kaasun ja happaman kaasun käytöstä aiheutuneita vaurioita.

 

Suositut Tagit: 1200c kolmen lämmitysvyöhykkeen pecvd-järjestelmä, Kiina 1200c kolmen lämmitysvyöhykkeen pecvd-järjestelmän valmistajat, toimittajat