Tyhjiöuunia eli uunikammion tietyssä tilassa tyhjiöjärjestelmää (varovasti koottu tyhjiöpumpulla, tyhjiömittauslaitteella, tyhjiöventtiilillä ja muilla komponenteilla) käytetään poistamaan osa uunikammion aineista niin, että uunikammion paine on normaalia ilmanpainetta pienempi ja uunikammion tilaa käytetään tyhjiötilan, joka on tyhjiöuuni, saavuttamiseen.