Laitteet lämmitykseen tyhjiöympäristössä. Uunin kammio johdetaan suurtyhjiöpumppujärjestelmään metalli- tai kvartsilasikannessa suljetussa uunissa. Uunin tyhjiöaste voi olla 133×(10-2~10-4)Pa. Uunin lämmitysjärjestelmä voidaan lämmittää suoraan sähkölämmityksellä vastusuunin langalla (kuten volframilangalla) tai se voidaan lämmittää suurtaajuisella induktiolla. Maksimilämpötila voi nousta noin 3000 asteeseen. Sitä käytetään pääasiassa keraamiseen polttoon, tyhjiösulatukseen, sähköisten tyhjiöosien kaasunpoistoon ja hehkutukseen, metalliosien juottamiseen ja keraamisten metallien tiivistämiseen.